來臺研發，並建立供應鏈生態系。同時補助學界發展Å尺度檢測技術，其不僅具備 檢測缺陷的功能，還具有解析表面原子與電子結構的能力，進而提供足夠的資訊而 設計有效的Å尺度元件製程以提高良率。 ( 二) 關鍵材料 推動政府補助資源，協助國內材料業者開發管制/ 非管制材料，並建立 α- s i te 材料驗證平台，鏈結材料開發端( 如環球晶、長興、新應材、永光等) 與終端廠( 穩 懋、台積電、日月光等)，提升終端廠使用國產材料信心，縮短材料業者開發到完 成客戶測試時間，加快商品化時程。另外，藉由學界開發新穎低維半導體材料技術 為基礎，並以開發關鍵元件技術為目標，期能透過挑戰物理極限的低維材料，為下 世代前瞻半導體技術開啟新契機。 ( 三) Å世代半導體技術 因應5G/6G及AIoT 發展趨勢，布局關鍵半導體自主技術，發展高頻化合物 半導體氮化鎵(GaN) 於8 吋矽基板磊晶、元件製程與封裝技術，以銜接臺灣擅長 之8 吋矽晶圓代工產業，預先布局毫米波5G/6G基礎建設所需高頻通訊元件；另 因應AIoT 少量多樣特性，發展全球首創可程式異質整合封裝技術，以預製型共通 基板，搭配可程式化軟體設計，大幅縮短AIoT 產品設計與製造時間，並降低少量 生產成本，加速系統應用落地。補助學界研發關鍵技術如超高密度三維積體電路技 術、極低能耗元件與運算架構。 ( 四) 人才培育 聚焦半導體新興材料與技術，結合產業與學界能量，導入國際級專家師資，規 劃高階技術主題培訓學程，政府企業共同出資，共育產業高階人才，挹注契合產業 人才質量需求。由國研院臺灣半導體研究中心執行，以臺灣半導體技術優勢，切入 關鍵量子晶片技術開發，建立臺灣量子研究生態體系，進而與國際相關領域研究接 軌。同時推動與UNSW、IMEC等國際指標型研究單位合作研究，鏈結半導體人才 培育計畫，培訓開發下世代量子元件技術人才，2025 年建立量子位元及低溫控制 讀取電路系統，實現二量子位元計算。 三、科研重要成果 ( 一) 半導體設備 1. 提升國內設備產業產值：推動半導體設備整機驗證補助核定通過13 案次， 93
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