國家科學及技術委員會之科技研發績效 科技施政 目標 執行 策略 預算數 ( 千元) 預算數占 機關整體 科技經費 比率(%) 執行數 ( 千元) 執行成果與效益 推動跨域 合作,深 化人文包 容,擘劃 前瞻科技 發展數位 創新,導 入科技多 元應用, 建構智慧 生活環境 6. 雲世代產業數位轉型-數位平台服務與科技 研發推動計畫(1/4) 推動學界團隊研發智慧製造關鍵軟硬體整合 技術,包含數位孿生(Digital twin)、邊緣 運算(Edge computing)、複合加工、機器 人人機協作等技術議題,促成智慧製造之技 術突破。完成產學合作12 件、技術移轉10 件,並培育高階智慧製造跨領域系統整合人 才230 人次。成果舉例說明如下: (1) 開發雷射輔助大氣電漿鍍膜製程技術:透 過虛實整合,達到智能化電漿光譜及加工 點熱流場的即時分析與監控,可提升此技 術在先進製程及尖端產業上的應用,例 如三維自由曲面的高階光電元件製作,目 前業界多仰賴傳統技術人員之加工經驗進 行高精度光學元件拋光,難以建立準確的 SOP 流程,本技術目標為實現傳統研拋 製程中重要影響參數之量化,找出最佳製 程參數,以提升光學元件精度品質並確立 SOP 流程,可減少人員培訓時間15%。 (2) 發展半導體先進製程檢測設備:開發半導 體先進封裝製程之線上智能化自動光學檢 測(AOI) 關鍵檢測技術與虛實整合系統, 以開發高數值孔徑軸向色散物鏡為例,利 用高數值孔徑之特性可接收更多光資訊, 提升2-D影像對比度及細節,以及3-D 光譜訊號訊噪比。此軸向色散物鏡於可 見光波長聚焦光點尺寸(Spot size) 皆小 於繞射極限,數值孔徑0.72、工作距離 8mm等皆為目前最佳量測規格,未來將 以此物鏡配合數位微鏡或高速振鏡進行全 域高速掃描,以建置前瞻量檢測系統。 7. 顯示科技研發與人才培育計畫 前瞻顯示科技研發的項目分為前瞻顯示技 術、先進材料與關鍵技術,以及前瞻顯示互 動科技與創新前瞻應用三大顯示技術領域, 如超高解析度的顯示技術、MicroLED、先進 人因工程、先進高效材料、光學元件、製程、 新穎顯示模式與系統、智慧互動與使用者體 驗科技等,進行跨領域整合研究、培育高階 跨領域研發人才。重點成果說明如下: 380
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