各場次時間如下:
- 定時導覽-第1場次:10:00-10:50(已額滿)
- 定時導覽-第2場次:14:30-15:20(已額滿)
- 影片賞析-第1場次:09:30-10:00
- 影片賞析-第2場次:14:00-14:30
- 動手做-第1場次:11:00-12:00 (已額滿)
- 動手做-第2場次:15:30-16:30 (已額滿)
*本活動除接受個人報名之外,亦開放團體報名(5人以上),如欲團報,請洽工作小組。
*本場域同時開放現場候補(名額依現場參觀人數而定)。
為了讓一般民眾認識甚麼是半導體製程實驗室,TSRI南科廠特別開闢定時定點導覽, 透過專人解說讓民眾了解無塵室是如何控制達到極低污染的作業環境,並經由視窗觀看Class 10K級無塵室內各式大型半導體製程實驗機台,了解如何利用製程機台來完成異質封裝製程,微機電製程及太陽能電池製程等。此外,特開闢廠務區參觀,揭開無塵室背後的運作面紗,讓民眾認識無塵室是靠甚麼樣的廠務設施來支持運作的。
趣味動手做活動單元:氣體感測電子積木疊疊樂
透過電子積木的趣味遊戲,讓大家瞭解半導體製造與設計的奧秘,探索微小晶片裡的奇幻世界,讓我們以最近距離認識氣體感測器半導體晶片科技。
本次活動開放時間為9:00至17:00;參觀方式採取定點參觀介紹及定時導覽,並配合半導體製程實驗室影片播放,帶領民眾認識半導體實驗室。另開闢趣味動手做活動單元讓有興趣民眾報名參加。民眾可自由參觀,也能透過專業導覽有更深一步的了解。
(自由參觀:9:00~17:00 ,並現場開放報名,人數上限20人)
活動內容如下:
•定時導覽:
參觀走道研究成果介紹:介紹TSRI南區三大主軸技術-氣體感測技術,異質封裝整合技術,及生醫感測晶片技術 。
半導體製程無塵室視窗巡禮:透過專人解說了解無塵室低汙染的作業環境,並經由視窗觀看Class 10K級無塵室內實驗作業情形。
半導體廠廠務區參觀:透過專人解說介紹如何維持無塵室運作的廠務設施-空調系統,無塵室溫濕度控制,純水設備,回收水系統,廢水處理,並了解半導體廠基礎維運及環境永續。
•展覽:各式研究相關海報介紹、實驗相關半成品展示。
•動手做活動:氣體感測電子積木疊疊樂
•影片賞析:於大型會議室播放無塵室內半導體製程儀器操作實驗相關影片,參加者可全方面了解半導體製程無塵室內景及製程設備操作實驗的情形。